德國SIOS專(zhuān)業(yè)從事高精度測量?jì)x器的開(kāi)發(fā)和制造，于1991年成立。從一開(kāi)始，SIOS和研究所之間就進(jìn)行了緊密的科學(xué)技術(shù)合作。這為開(kāi)發(fā)和制造精密測量技術(shù)的創(chuàng )新產(chǎn)品奠定了基礎，尤其是在激光干涉儀領(lǐng)域。今天，過(guò)程測量和傳感器技術(shù)研究所與SIOS之間的合作仍在繼續，以使雙方都受益。
SIOS公司始于“Technologie- undGründerzentrumIlmenau"（技術(shù)和形成中心），并于1993年搬入了“ Am Vogelherd"商業(yè)園區的自有建筑物。該公司仍位于該園中，盡管該建筑在近幾年中已進(jìn)行了多次擴建。該公司與伊爾默瑙技術(shù)大學(xué)及其在伊爾默瑙技術(shù)區的聯(lián)系緊密，為業(yè)務(wù)奠定了堅實(shí)的背景，并確保了未來(lái)成功的技術(shù)進(jìn)步。如今，SIOS已成為全球性企業(yè)。代表處分布在將近30個(gè)重要的工業(yè)國家中，大約50％的銷(xiāo)售額來(lái)自海外。
SIOS主要產(chǎn)品：
長(cháng)度測量系統
激光干涉儀、差分激光干涉儀
長(cháng)度和角度測量系統
雙光束干涉儀、三光束干涉儀
校準系統
校準激光干涉儀、緊湊型校準激光干涉儀、激光干涉儀、帶有角錐反射鏡的激光干涉儀
納米定位和納米測量機
激光振動(dòng)計
測量探頭
測量和校準系統
穩定的氦氖激光器
氣候測量站
主要型號：
SP-NG Series、SP 15000 C5、SP 5000 TR、NMM-1、SP-S Series、NA Series、LM Series、LM 20、PT Series、Model SL 02、Model SL 04、SP 5000 DI、SP 5000 DI/F
我們的超穩定差分激光干涉儀 SP 5000 DI 具有的熱穩定性，可用于研發(fā)中的長(cháng)期測量，例如 B. 在材料測試中使用。由于具有參考光束的結構，測量系統可以放置在距測量點(diǎn)更遠的位置，而不會(huì )顯著(zhù)影響測量的分辨率和穩定性。干涉儀的長(cháng)度分辨率為 5 pm，由于相同光束長(cháng)度下測量系統的差分原理，在正常實(shí)驗室條件下也可以實(shí)現。如果使用傾斜不變反射器進(jìn)行測量，則長(cháng)度測量的測量范圍為幾米。該系統具有模塊化結構，因此可以適應測量任務(wù)。調整可以很容易地進(jìn)行并且具有長(cháng)期穩定性?；?SP 5000 DI 干涉儀的多軸系統結構也支持多坐標測量。
差分激光干涉儀可作為 OEM 版本作為編碼器安裝在機器軸上。 SP 5000 DI 可作為真空優(yōu)化版本提供，用于在真空中進(jìn)行測量。
標準光束間距為 21 毫米
位移測量范圍：5 m
位移分辨率：5 pm
角度測量范圍
帶反射器：±12.5°
帶平面鏡（建議距離≤2m）：±1.5弧分
光束距離（標準）：21 mm
波長(cháng)：632.8 nm
HeNe激光器的頻率穩定性（預熱時(shí)間之后）：2·10-8
HeNe激光器的預熱時(shí)間：10 ... 20 min
工作溫度范圍：15 ... 30°C
測量反射鏡的位移速度：max.3 m /s
傳感器頭和電子單元之間的電纜長(cháng)度：3 m，max.10 m
電源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz
尺寸（長(cháng)x寬x高）
傳感器頭（帶基板）：150 x 140 x 43 mm
電子供應和評估單元（標準）：450 x 400 x 150 mm
電子供應和評估單元（緊湊）：250 x 400 x 150 mm
重量
感測頭：2.0 kg
底盤(pán)：1.5 kg
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